| 類別 | 內容 |
|---|---|
| 設備節拍（上片或下片） | 425pcs/h |
| 產品良率 | ≥99.9% |
| 設備精度 | 晶圓片上下片重復定位精度 可達到±0.05mm,±0.1度以內 |
| MO倒片機尺寸 | L4.5m*W2.6m*H2.4m |
| 周轉單元尺寸 | L2.7m*W1.85m*H2.4m |
| AGV尺寸 | 根據具體功能定制 |
| 電子貨架尺寸 | 根據具體功能定制 |
全自動(dong)：AGV運載石(shi)墨盤(pan)根據調度系統指令自動(dong)在電(dian)子(zi)貨架(jia)、MO倒片機，周轉單元對(dui)接；
電(dian)子貨架存儲(chu)石墨盤且(qie)與中控系統(tong)實時通訊監控石墨盤狀態；
MO倒片機實(shi)現(xian)自(zi)動(dong)上下石墨盤，Pocket自(zi)動(dong)清潔，晶圓mapping、晶圓尋邊(bian)、Wafer ID讀取、自(zi)動(dong)上片、可反流程實(shi)現(xian)自(zi)動(dong)下片，Wafer ID與盤SN綁定LINK后上傳至MES；
周(zhou)轉單元與(yu)MO設(she)備無縫對接，實現自動上下石墨盤，收集MO腔(qiang)體狀態信息于(yu)中控系統(tong)通訊；
高配(pei)置：CCD自動(dong)檢(jian)測、著名(ming)品牌(pai)工業機器(qi)人、全(quan)過(guo)程(cheng)伺服控(kong)制系統、全(quan)過(guo)程(cheng)智能(neng)檢(jian)測以及智能(neng)化操作系統等
人性化：成熟(shu)先進的自動控(kong)制(zhi)技術，增加智能(neng)監(jian)控(kong)，智能(neng)語音(yin)提醒，既滿足工業生產也(ye)兼(jian)顧人因工程
